分析数据全部为零
1、擦洗透镜后未将透镜后的球阀扳为180度，将光路完全挡住。（此故障现象只限于QSN750,QSG750型）。
2、在擦洗透镜后不要马上分析样品。是因为仪器真空检测未达到正常值，此时负高压电源自动断开。擦洗透镜后等待五分钟即可正常工作。另外在GS1000型仪器上盖处于开启状态时激发样品也会出现此种现象。
分析数据不稳定
1、在发现数据不稳定时，首先要确认仪器的外围设施是否正常。例如氩气的纯度，压力是否正常，在更换氩气时管道是否漏气。样品制备是否有问题。
2、根据激发斑点的形状及大小即可判断氩气纯度是否有问题。
3、如激发斑点无问题，使用一块标准样品激发几次可看重现性即可确认是否分析样品本身的均匀性不好，存在偏析现象。
4、分析样品在制备时是否存在裂纹，砂眼等影响分析结果的现象。
通常引起分析数据不稳定的主要原因是氩气的纯度。一般情况下铸铁，铸铝及高纯金属等材质需使用99.999%纯度的氩气。
