光电光谱分析放入灵敏度与光源性质、仪器状态、试料组成及元素性质等均有关。对溶样样品用ICP光源时检出限达1ng/ml~1ug/ml。用真空型光电光谱仪时对碳、硫、磷等非金属也具有较好的检出限，一般可对固定的金属、合金或粉末采用火花或电弧光源时，检出限可达0.1~10ug/g。对碳、硫、磷等非金属也具有较好的检出限。
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